| A. 常用石墨舟规格： | ||||
| 舟片数 | 硅片类型 | 舟片尺寸 | 装载硅片数 | 适用设备 |
| 13 | 156*156 | 1196*185*2.5 | 144 | CT/48/七星华创/捷佳伟创等 |
| 13 | 125*125 | 1196*160*2.5 | 168 | CT/48/七星华创/捷佳伟创等 |
| 15 | 125*125 | 1196*160*2.5 | 196 | CT/48/七星华创/捷佳伟创等 |
| 19 | 156*156 | 1196*195*2.5 | 216 | CT/48/七星华创/捷佳伟创等 |
| 19 | 125*125 | 1196*160*2.5 | 252 | CT/48/七星华创/捷佳伟创等 |
| 21 | 156*156 | 1196*195*2.5 | 240 | CT |
| 23 | 156*156 | 1300*195*2.5 | 264 | CT |
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